擴散硅壓力傳感器芯體

標題：擴散硅壓力傳感器芯體

產(chǎn)品概述

擴散硅壓力傳感器芯體產(chǎn)品特點(diǎn)

● 具有表壓、絕壓和密封表壓形式

● 隔離式結構，適用于多種流體介質(zhì)

擴散硅壓力傳感器芯體應用領(lǐng)域

● 壓力檢測儀表

● 制冷設備和空調系統

● 液壓系統及開(kāi)關(guān)

● 壓力校準儀器

技術(shù)規格                                

技術(shù)特點(diǎn)：

1、靈敏度高

擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50?80倍，它的滿(mǎn)量程信號輸出在80-100mv左右。對接口電路適配性好，應用成本相應較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無(wú)機械動(dòng)件損耗，因而分辨率*。

2、精度高

擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉換和檢測三位一體，無(wú)機械動(dòng)件連接轉換環(huán)節，所以重復性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好，形變小，因而傳感器的線(xiàn)性也非常好，因此綜合表態(tài)精度很高。

3、可靠性高

擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級，膜片zui大位移量在來(lái)微米數量級，且無(wú)機械磨損、無(wú)疲勞、無(wú)老化。平均*時(shí)間長(cháng)，性能穩定，可靠性高。

4、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過(guò)程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結構前置安裝特殊設計，使傳感器頻率響應很高，使用帶寬可達零頻至100千赫茲。

5、溫度性能好

隨著(zhù)集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴散硅敏感膜的四個(gè)電阻*性得到進(jìn)一步提高，原始的手工補償已被激光調阻、 計算機自動(dòng)修整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數已達10-5/°C數量級，工作溫度也大幅度提高。

6、抗電擊穿性能好

由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強磁場(chǎng)、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。

7、耐腐蝕性好

由于擴散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，也能在普通使用中適應各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時(shí)結構工藝更易于實(shí)現。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點(diǎn)，可替代諸多同類(lèi)型的同功能產(chǎn)品，具有*良的性能價(jià)格比。