擴散硅壓力傳感器芯體

標題：擴散硅壓力傳感器芯體

產(chǎn)品概述

擴散硅壓力傳感器芯體是一種采用不銹鋼波紋膜片隔離的充油式OEM壓力敏感元件。被測壓力通過(guò)隔離膜片和灌注的硅油傳遞到具有惠斯登電橋的精密力學(xué)結構的硅壓敏芯片上，實(shí)現了被測壓力和模擬信號精確轉換，再通過(guò)一個(gè)定制的集成電路進(jìn)行溫度補償和非線(xiàn)性修正并輸出符合I2C、SPI、MODBUS 485協(xié)議的壓力數據和溫度數據。數字輸出經(jīng)過(guò)歸一化，應用性強。

產(chǎn)品特點(diǎn)

● 具有表壓、絕壓和密封表壓形式

● 隔離式結構，適用于多種流體介質(zhì)

應用領(lǐng)域

● 壓力檢測儀表

● 制冷設備和空調系統

● 液壓系統及開(kāi)關(guān)

● 壓力校準儀器

擴散硅壓力傳感器芯體技術(shù)規格                                

技術(shù)特點(diǎn)：

1、靈敏度高

擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50?80倍，它的滿(mǎn)量程信號輸出在80-100mv左右。對接口電路適配性好，應用成本相應較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無(wú)機械動(dòng)件損耗，因而分辨率*。

2、精度高

擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉換和檢測三位一體，無(wú)機械動(dòng)件連接轉換環(huán)節，所以重復性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好，形變小，因而傳感器的線(xiàn)性也非常好，因此綜合表態(tài)精度很高。

3、可靠性高

擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級，膜片zui大位移量在來(lái)微米數量級，且無(wú)機械磨損、無(wú)疲勞、無(wú)老化。平均*時(shí)間長(cháng)，性能穩定，可靠性高。

4、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過(guò)程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結構前置安裝特殊設計，使傳感器頻率響應很高，使用帶寬可達零頻至100千赫茲。

5、溫度性能好

隨著(zhù)集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴散硅敏感膜的四個(gè)電阻*性得到進(jìn)一步提高，原始的手工補償已被激光調阻、 計算機自動(dòng)修整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數已達10-5/°C數量級，工作溫度也大幅度提高。

6、抗電擊穿性能好

由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強磁場(chǎng)、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。